Вакуумной конденсацией на ситалловые подложки двухкомпонентных паровых смесей на основе меди, легированных тугоплавким металлом (Mo, W, Ta), получены субмикрокристаллические (СМК) композитные фольги. Методами рентгендифрактометрии, электронографии, просвечивающей электронный микроскопии исследована структура. Концентрация легирующих элементов определена рентгенфлуоресцентным спектральным анализом. Измерены механические свойства и электросопротивление СМК-композитов. Обнаружен пик дисперсионного твердения в процессе термообработки.

Предлагается новый подход к решению проблемы роста тонких плёнок на больших (более 15 см. в диаметре) поверхностях. Разработан метод создания масштабируемого плазменного реактора для получения тонких пленок большого размера из газовой фазы СВЧ разряда, возбуждаемого системой последовательно запускаемых магнетронов. Каждый магнетрон зажигает разряд на своей части поверхности. Увеличивая число магнетронов, возможно получить слой плазмы на необходимой площади, что является необходимым условием роста однородных тонких плёнок. На созданной установке продемонстрирована возможность создания однородной плазмы на площади диаметром 25 см.

Исследовано влияние ионной бомбардировки в процессе роста пленок ниобия на их кристаллическую структуру. Пленки получены ВЧ магнетронным распылением, ионная бомбардировка осуществлялась перпендикулярно поверхности подложки за счет подачи на подложку отрицательного напряжения смещения. Показано, что при росте ниобия на аморфной подложке с одновременной ионной бомбардировкой в пленке формируется аксиальная текстура (110). Степень кристалличности возрастает с ростом смещения от 0 до -50 В и ухудшается с дальнейшим ростом смещения. Установлено, что использование смещения при росте Nb на подложках Al2O3 нагретых до температуры 500ОС приводит к образованию двухосевой текстуры (110), в то время как без смещения пленки растут поликристаллическими.

В результате работы установлено влияние поверхностных свойств подложки на электропроводность жидкокристаллической системы - водного раствора лецитина. Показана связь структурируемости с электрическими характеристиками жидкого кристалла. Установленно наличие электродинамической неустойчивости в исследуемом жидком кристалле при определенных условиях.

Представлены результаты экспериментальных исследований механических свойств сверхтонких пленок Al, Cu, Ti, Nb, сформированных на алюминиевой основе методами термического и дугового испарения. Получены экспериментальные значения твердости композиций Al-Al, Al-Cu, Al-Ti, Al-Nb для различных толщин пленок и расчетные значения твердости нанопленок.

Проведен анализ изделий на основе фотонных кристаллов и возможностей технологии тонких пленок для их изготовления. Проведена оценка проводимости каналов, образованных глобулами опаловой матрицы. Приведены результаты расчетов проводимости и экспериментов по нанесению тонких пленок на подложки из синтетического опала.

Представлены результаты исследований влияния магнитного поля на коэффициент трения тонкопленочного твердосмазочного покрытия на основе WS2, формируемого ВЧ-магнетронным методом.

Показана возможность использования искусственных нейронных сетей для исследования механических свойств тонких пленок. Приведены результаты испытаний пленок на износ с целью подготовки набора данных для обучения нейросети.

В работе выявлено, что пленки Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O с высокотемпературными сверхпроводящими свойствами можно получить только на ненагретых подложках с подслоями цирконата-титаната свинца, напыленных также при комнатной температуре, с последующим отжигом не менее 16 часов при температуре 850°С.

Приведены результаты исследования люксамперных, люксвольтовых, вольтамперных характеристик и фотопроводимости косонапыленных пленок GaAs. Величина фотонапряжения составила 180 В при угле между направлением молекулярного пучка и нормалью к подложке 50°. Полученные результаты объяснены появлением наклонной оси текстуры в процессе роста пленки.

Методом магнетронного напыления изготовлены образцы мультислойных структур на основе кобальта-меди и кобальта-серебра. Проведены исследования эффектов Холла, Керра и магниторезистивного эффекта. При толщинах Co, Cu, Ag 45 А, 30 А, 30 А соответственно наблюдается существенное увеличение рассматриваемых эффектов.

Изготовлены образцы мультислойных структур на основе Fe - Cr, FeNi - Cr и FeNi - Ag. Исследованы магниторезистивный эффект, эффект Холла и экваториальный эффект Керра. Выявлено, что в данных пленках имеется магниторезистивный эффект, увеличивающийся с ростом количества пар слоев. При этом наблюдается увеличение эффекта при возрастании толщины магнитных прослоек. Отмечено увеличение Э.Д.С. Холла и экваториального эффекта Керра с ростом количества пар слоев.

Показана возможность использования частиц наноразмеров в технологии тонких пленок. Расмотрены перспективы применения "пылевой" плазмы для формирования новых материалов и модификации поверхностей.

Исследовано влияние парафенилендиамина на фотохромные свойства пленок на основе бактериородопсина. Парафенилендиамин применялся для стабилизации первоначально образующейся структуры образцов. Стабилизация была достигнута в течение 12 суток после получения пленок.

[1] [2]

Web-master:
Petukhov Konstantin

2005