X Международная научно-техническая
конференция
ВЫСОКИЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ РОССИИ
(МАТЕРИАЛЫ И УСТРОЙСТВА ФУНКЦИОНАЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОФОТОНИКИ)

СОДЕРЖАНИЕ

Раздел I. Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы, оборудование, технологии производства, обработка и исследования наноматериалов

А.Л.Микаэлян, А.Н.Палагушкин, С.А.Прокопенко, А.П.Сергеев, А.Н.Арламенков. ПЛАЗМОННЫЕ НАНОСТУКТУРЫ(A.L.Mikaelian, A.N.Palagushkin, S.A.Prokopenko, A.N.Arlamenkov. Plasmon nanostructures)

В.И.Бурков, В.С.Горелик, Л.И.Злобина, С.Н.Ивичева, Н.Н.Мельник, А.А.Ревина, М.И.Самойлович, П.П.Свербиль, Э.М.Шпилевский, Н.И.Юрасов. ЛАЗЕРНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ НЕУПРУГОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА В НАНОСТРУКТУРАХ(V.I.Burkov, V.S.Gorelik, L.I.Zlobina, S.N.Ivicheva, N.N.Melnik, A.A.Revina, M.I.Samoylovich, P.P.Sverbil, E.M.Shpilevskii, N.I.Yurasov. Laser spectroscopy of inelastic light scattering in nanostructures)

М.И.Самойлович, А.Ф.Белянин, С.М.Клещева, К.Ю.Петухов, Ю.В.Панфилов, Е.В.Булыгина, В.С.Крапошин, Н.И.Юрасов, А.Ю.Шенкаренко, Е.А.Ганьшина, Н.С.Перов, П.В.Пащенко, В.М.Черепанов. МЕТАЛЛО-ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ НАНОКОМПОЗИТЫ НА ОСНОВЕ ОПАЛОВЫХ МАТРИЦ(M.I.Samoylovich, A.F.Belyanin,S.M.Klescheva, K.Yu.Petukhov, Yu.V.Panfilov, E.V.Bulygina, V.S.Kraposhin, N.I.Yurasov, A.Yu.Shenkarenko, E.A.Ganshina, N.S.Perov, P.V.Paschenko, V.M.Cherepanov. Metal-dielectric nanocomposites based on opal matrices)

А.Б.Ринкевич, Л.Н.Ромашев, М.А.Миляев, В.В.Устинов, Е.А.Кузнецов. ПРОНИКНОВЕНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН ЧЕРЕЗ НАНОСТРУКТУРЫ Fe/V И FeNi/V(A.B.Rinkevich, L.N.Romashev, M.A.Miluyaev, V.V.Ustinov, E.A.Kuznetsov. Electromagnetic wave penetration through Fe/V AND FeNi/V nanostructures)

В.И.Зубков, А.В.Соломонов. МОДЕЛИРОВАНИЕ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ НАПРЯЖЕННЫХ КВАНТОВЫХ ЯМ InGaAs/GaAs(V.I.Zubkov, A.V.Solomonov. Simulation and characterization of strained quantum wells InGaAs/GaAs)

В.М.Масалов, В.Н.Астратов, J.P.Franchak, Э.Н.Самаров, Г.А.Емельченко, K.-S.Kang, M.?A.Hasan, Г.М.Михайлов, Л.Фомин. ПОЛУЧЕНИЕ ДВУМЕРНЫХ ФОТОННЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ НАПРАВЛЕННОГО ДВИЖЕНИЯ КАПИЛЛЯРНОГО ФРОНТА(V.M.Masalov, V.N.Astratov, J.P.Franchak, E.N.Samarov, G.A.Emel'chenko, K.-S.Kang, M.-A.Hasan, G.M.Mikhailov, L.Fomin. Fabrication of two dimensional photonic structures by the method of vectorial motion of capillary front)

М.И.Самойлович, Е.П.Гребенников, М.Ю.Цветков, С.М.Клещева, М.В.Поляченкова, Ю.В.Орловский, Л.И.Ивлева, Т.Т.Басиев. ЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ НАНОКОМПОЗИТА БАКТЕРИОРОДОПСИН - ОПАЛОВАЯ МАТРИЦА НА РАЗЛИЧНЫХ ПОДЛОЖКАХ(M.I.Samoilovich, E.P.Grebennikov, M.Yu.Tsvetkov, S.M.Kleshcheva, M.V.Poljachenkova, Yu.V.Orlovskii, L.I.Ivleva, T.T.Basiev. Fluorescence of nanocomposite: bacteriorhodopsin - opal matrix on various substrat)

В.В.Станкевич, М.В.Ермоленко, С.А.Тихомиров, С.В.Гапоненко, П.И.Кузнецов, В.А.Житов, Л.Ю.Захаров, Г.Г.Якущева. СВЕРХБЫСТРОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ В ОДНОМЕРНЫХ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛАХ НА ОСНОВЕ ХАЛЬКОГЕНИДОВ ЦИНКА(V.V.Stankevich, M.V.Ermolenko, S.A.Tikhomirov, S.V.Gaponenko, P.I.Kuznetsov, V.A.Jitov, G.G.Yakushcheva, L.Yu.Zakharov. Ultrafast switching in onedimentional photonic crystal based on zinc chalcogenids)

М.И.Самойлович, М.Ю.Цветков, С.М.Клещева, Ю.И.Чигиринский, Н.В.Гапоненко. ЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ЭРБИЯ В 3D- И 2D-МЕЗОПОРИСТЫХ МАТРИЦАХ(M.I.Samoilovich, M.Yu.Tsvetkov, S.M.Kleshcheva, Yu.I.Chigirinskii, N.V.Gaponenko Erbium luminescence in 3D- and 2D-mesoporous matrices)

В.К.Егоров, Е.В.Егоров. ИОНОПУЧКОВЫЕ МЕТОДЫ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОЛИЧЕСТВЕННОГО КОНТРОЛЯ НАНОСТРУКТУР(V.K.Egorov, E.V.Egorov Ion beam methods for nondestruction quantitative control of nanostructures)

Раздел II. Технологии и оборудование для производства приборов наноэлектроники и электронной техники, системы и устройства средств связи

Е.В.Егоров, В.К.Егоров. ВОЛНОВОДНО-РЕЗОНАНСНЫЕ УСТРОЙСТВА ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ НАНОФОТОНИКИ(E.V.Egorov, V.K.Egorov. Waveguide-resonance devices for X-ray nanophotonics)

В.Ш.Берикашвили, Н.Т.Ключник, К.Н.Костенко, М.Я.Яковлев. ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДНЫЕ ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ(V.S.Berikashvilli, N.T.Klyuchnik, K.N.Kostenko, M.Y.Yakovlev. Waveguide dispersing elements based on integrated optic)

А.С.Красников, Л.И.Миркин. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА, СВОЙСТВА ЛИТИЕВО-АЛЮМОСИЛИКАТНЫХ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СТЕКОЛ И ФОТОСИТАЛЛОВ С РАЗЛИЧНЫМИ ДОБАВКАМИ ОКСИДОВ SrO, BaO(A.S.Krasnikov, L.I.Mirkin. Phase composition, structure, properties of lithium-silica-alumina photosensitive glass and glass-ceramics with various oxide components SrO, BaO)

А.В.Войцеховский, С.Н.Несмелов, Н.А.Кульчицкий. ЕМКОСТНЫЕ СВОЙСТВА МДП-СТРУКТУР HgCdTe/ SiO2-Si3N4(A.V.Voitsekhovskii, S.N.Nesmelov, N.A.Kulchitchkii. The capacitance properties of MIS-structures HgCd3Te/SiO2/Si3N4)

В.А.Самородов, В.В.Сень, Н.В.Суетин. ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ РОСТА КРЕМНИЕВЫХ НАНОВОЛОКОН ОТ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ В РЕАКТОРАХ С ТЕРМИЧЕСКОЙ АКТИВАЦИЕЙ(V.A.Samorodov, V.V.Sen, N.V.Suetin. Investigation of the silicon nanowires growth from the parameters of hot-filament CVD)

В.В.Бесогонов, В.Я.Когай, Г.М.Михеев. МОДЕРНИЗАЦИЯ ВАКУУМНОГО УНИВЕРСАЛЬНОГО ПОСТА ВУП-5 ДЛЯ ЛАЗЕРНОГО ИСПАРЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ(V.V.Besogonov, V.Ya.Kogаi, G.M.Mikheev. Modernization of vacuum universal equipment VUP-5 for laser evaporation of semiconductor materials)

О.Ю.Масленников, С.С.Дроздов, Е.В.Орехов, А.И.Беликов, С.А.Елисеев. УСТАНОВКА ИОННО-ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ И НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА КАТОДНЫЕ УЗЛЫ(O.Yu.Maslennikov, S.S.Drozdov, E.V.Orehov, A.I.Belikov, S.A.Eliseev. Ion-beam etching and thin film deposition equipment for cathodes assembly)

Н.А.Большаков, А.А.Раскин, Ю.М.Литвинов. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОДГОТОВКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ СУБМИКРОННЫХ СБИС И УБИС(N.A.Bolshakov, A.A.Raskin, Y.M.Litvinov Investigation of silicon substrates preparation meant for submicron ULSI/VLSI)

П.В.Пащенко, Л.В.Павлушкин, А.И.Порошин, А.Г.Никифоренко, А.Ф.Белянин, Н.В.Суетин. БЛОК ПИТАНИЯ УСТАНОВКИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ МАГНИТНОГО УСИЛИТЕЛЯ(P.V.Pashenko, L.V.Pavlushkin, A.I.Poroshin, A.G.Nikiforenko, A.F.Belyanin, N.V.Suetin. Power supply unit for magnetron sputtering plant based on magnetic amplifierb)

А.И.Беликов, А.Н.Гацан. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПОТОК РАСПЫЛЕННОГО МАТЕРИАЛА(A.I.Belikov, A.N.Gatsan. Magnetic fields influence on sputtered material flow researches)

И.А.Кормилицина, Р.Ш.Тахаудинов, Ю.Б.Цветков. АНАЛИЗ СОВМЕЩАЕМОСТИ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ(I.A.Kormilitsina, R.Sh.Tahautdinov, Yu.B.Tsvetkov Layer registration of multilayer printed circuit analysis)

В.И.Стафеев. ФОТОПРИЕМНИКИ С ВНУТРЕННИМ ИНЖЕКЦИОННЫМ УСИЛЕНИЕМ(V.I.Stafeev. Photodetectors with internal injection amplification)

В.В.Соловей, А.А.Раскин, Ю.М.Литвинов, А.И.Хохлов, С.П.Яковлев. ДВУХСТОРОННЕЕ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ УВЕЛИЧЕННОГО ДИАМЕТРА - ЭТАП В ОСВОЕНИИ СУБМИКРОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ СБИС И УБИС(V.V.Solovey, A.A.Raskin, Yu.M.Litvinov, A.I.Hohlov, S.P.Yakovlev. Double-side chemical-mechanical polishing of large silicon wafers as stage of ULSI/VLSI submicron technique developing)

А.А.Ревина, А.Н.Кезиков. ОПТИЧЕСКИЕ И АДСОРБЦИОННЫЕ СВОЙСТВА СТАБИЛЬНЫХ НАНОЧАСТИЦ ПАЛЛАДИЯ(A.A.Revina, A.N.Kezikov. Optical and adsorptive properties of palladium stable nanoparticles)

А.В.Хомутов, М.Е.Хомутова, А.В.Андросов, С.Б.Нестеров. ВЛИЯНИЕ ОРЕБРЕНИЯ КРИОПАНЕЛИ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ КРИОВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ(A.V.Khomutov, M.E.Khomutova, A.V.Androsov, S.B.Nesterov. The effect of cryopanel finning on cryovacuum systems features)

Е.П.Чубаров, С.Ю.Кузовлев, В.Ю.Виноградов, С.А.Петров. ЛАЗЕРНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ПОДГОНКИ НОМИНАЛОВ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОГЛАСУЮЩИХ ПЕРЕМЫЧЕК ГИС(E.P.Chubarov, S.Yu.Kuzovlev, V.Yu.Vinogradov, S.A.Petrov. Laser automatic technological device for adapting the nominals of film resistors and manufacturing the microchannel junction plate for hybrid integrated plate)

Раздел III. Методы контроля физико-технических свойств материалов электронной техники, моделирование и информационное обеспечение исследований

В.А.Петровский, М.И.Самойлович, А.Ф.Белянин, А.Е.Сухарев. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРИРОДНОГО СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛОВ(V.А.Petrovsky, M.I.Samoylovich, A.F.Belyanin, А.Ye.Sukharev. Modelling of natural synthesis of diamond polycrystals)

М.Я.Яковлев, В.Н.Цуканов, Д.В.Мозжегоров. ОСОБЕННОСТИ КОНТРОЛЯ БЕЗОТКАЗНОСТИ ПАССИВНЫХ ОПТИЧЕСКИХ КОМПОНЕНТОВ ВОСП(M.Y.Yakovlev, V.N.Thsukanov, D.V.Mozzhegorov. Some particularities of checking the requirements on reliability passive optical components)

В.М.Елинсон, А.Н.Лямин, А.В.Сибекин, Е.А.Немец. ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ ОТ МИКРОБИОЛОГИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ В ИМПУЛЬСНОЙ ВОЗДУШНОЙ ПЛАЗМЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ(V.M.Elinson, A.N.Lyamin, A.B.Sibekin, E.A.Nemets. Antimicrobial purification of polymeric materials surface in the pulse air plasma at ambient pressures)

К.А.Ковальский, А.А.Неборако, Л.Н.Быкова. ПРИМЕНЕНИЕ СОВРЕМЕННЫХ "ВИРТУАЛЬНЫХ" АНАЛИЗАТОРОВ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ИОНОВ Cu(II) МЕТОДАМИ ИОНОМЕТРИИ И ИНВЕРСИОННОЙ ВОЛЬТАМПЕРОМЕТРИИ(K.A.Kovalskiy, A.A.Neborako, L.N.Bykova. Application of modern "virtual" devices for copper determination by ionometry and stripping voltammetry)

А.Б.Коршунов, Л.И.Миркин. САМОПРОИЗВОЛЬНОЕ ДИСПЕРГИРОВАНИЕ МЕТАЛЛОВ ПРИ ДЕЙСТВИИ ПОВЕРХНОСТНО-АКТИВНЫХ ВЕЩЕСТВ(A.B.Korshunov, L.I.Mirkin Spontaneous dispergation of metals by action of surface-active substances)

В.Г.Ральченко, Е.В.Ивакин, А.В.Суходолов, А.В.Власов, А.Ф.Попович, А.В.Хомич. ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ АЛМАЗНЫХ ПЛАСТИН, ВЫРАЩЕННЫХ В СВЧ РАЗРЯДЕ(V.G.Ralchenko, E.V.Ivakin, A.V.Sukhadolau, A.V.Vlasov, A.F.Popovich, A.V.Khomich. Thermal conductivity of diamond wafers grown in microwave plasma)

К.А.Ковальский, М.Н.Кашапов. ИНФОРМАТИЗАЦИОННАЯ СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ВОЛЬТАМПЕРОМЕТРИЧЕСКИМ ЭКСПЕРИМЕНТОМ(K.A.Kovalskiy, M.N.Kashapov. Informational system for voltammetric experiment control)

А.Н.Ломанов, Э.И.Семенов. СИСТЕМА КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ И АНАЛИЗА СОСТАВА ОСАЖДЕННЫХ СПЛАВОВ (А.N.Lomanov, E.I.Semeno. System of deposition velocity control and deposition alloies composition analysis)

К.А.Ковальский. АЛГОРИТМ ЭКСПРЕСС-ОПРЕДЕЛЕНИЯ ИОНОВ Мn (II) МЕТОДОМ ИНВЕРСИОННОЙ ВОЛЬТАМПЕРОМЕТРИИ(K.A.Kovalskiy. Algorithm of Mn(II) ions express-determination by stripping voltammetry)

Э.И.Семенов, И.Ю.Паутов, А.С.Истомин, А.В.Гусаров. КАМЕРТОННЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ ОСАЖДЕНИЯ ИХ В ВАКУУМЕ(E.I.Semenov, I.Yu.Pautov, A.S.Istomin, A.V.Gusarov. Tuning-fork method of coating thickness controls during their deposition in a vacuum)

А.А.Бритвин, А.А.Раскин, Ю.М.Литвинов, В.Ф.Павлов. РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИАГНОСТИКА ПОДЛОЖЕК САПФИРА И СТРУКТУР КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ(A.A.Britvin, A.A.Raskin, M.Yu.Litvinov, V.F.Pavlov. X-ray diagnostic of sapphire wafers and silicon-on-sapphire structures)

С.Б.Нестеров, Т.С.Строгова, Ю.К.Васильев. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА В РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ТЕЧЕНИЯ(S.B.Nesterov, T.S.Strogova, Yu.K.Vassiliev. Study of rarefied gas characteristics in different flow regimes)

А.Е.Сухарев. МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ОБРАЗОВАНИЯ ПРИРОДНЫХ АЛМАЗНЫХ АГРЕГАТОВ(A.Ye.Sukharev. Modelling of conditions of formation of natural diamond aggregates)

С.Э.Семенова, Э.И.Семенов. КОМПЬЮТЕРНЫЙ ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК(S.E.Semenova, E.I.Semenov. Computer photometric control of etching rate of thin dielectric films)

А.С.Истомин, Э.И.Семенов. ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ(A.S.Istomin, E.I.Semenov. Capacitor gauges for the control of thickness of coverings)

Г.Е.Адамов, Е.П.Гребенников, А.Г.Девятков. ТЕХНОЛОГИЯ И МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ БАКТЕРИОРОДОПСИНА, МОДИФИЦИРОВАННОГО АМИНОКИСЛОТАМИ(G.E.Adamov, E.P.Grebennikov, A.G.Devyatkov. Technology and materials for preparation of the films of aminoacid modified bacteriorhodopsin)

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ В ЭЛЕКТРОНИКЕ

Получение, свойства и применение тонких пленок и слоистых структур на их основе в электронике

А.Ф.Белянин, А.Ю.Илюшечкин, М.И.Самойлович. ОСОБЕННОСТИ СТРОЕНИЯ И СВЕРХПРОВОДЯЩИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК Bi-Sr-Ca-Cu-O, СФОРМИРОВАННЫХ НА ПОДЛОЖКАХ РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ(A.F.Belyanin, A.Yu.Ilyushechkin, M.I.Samoylovich. The peculiarities of structure and superconducting properties of Bi-Sr-Ca-Cu-O films, being formed on substrates of various materials)

А.А.Барыбин, В.И.Шаповалов. АНАЛИЗ СПЕКТРОВ ОПТИЧЕСКОГО ПРОПУСКАНИЯ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК(A.A.Barybin, V.I.Shapovalov. Optical transmission spectra analysis of thin oxide films)

Я.Субоч, А.И.Воложин, Н.A.Свидунович. ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОЛИИМИДНЫХ ПЛЕНОК (Ya.Suboch, A.I.Volozhin, N.A.Svidunovich. Dielectric properties of nanostructured polyimide films)

А.Ф.Белянин, М.И.Самойлович, Д.В.Александров, П.В.Пащенко, М.А.Тимофеев, А.Л.Каменева, А.Л.Талис. МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ РЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНЕЙ ПРИ БОМБАРДИРОВКЕ ИОНАМИ(A.F.Belyanin, M.I.Samoylovich, D.V.Alexandrov, P.V.Pashenko, M.A.Timofeev, A.L.Kameneva, A.L.Talis. Morphological peculiarities of target surface relief after ion bombardment)

М.И.Петржик, Д.В.Штанский, Е.А.Левашов. СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ОЦЕНКИ МЕХАНИЧЕСКИХ И ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(M.I.Petrzhik, D.V.Shtansky, E.A.Levashov. Modern techniques to evaluate mechanical and tribological properties of functional surfaces)

А.Ф.Белянин, М.И.Самойлович, В.Д.Житковский, В.В.Жирнов. ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР Si/CaF2(A.F.Belyanin, М.I.Samoylovich, V.D.Zhitkovskiy, V.V.Zhirnov. The application of molecular-beam epitaxy for layer structures Si/CaF2 synthesis)

Н.Д.Стрекаль, О.С.Кулакович, С.В.Гапоненко, С.А.Маскевич, М.И.Самойлович, А.В.Гурьянов. ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ(O.S.Kulakovich, N.D.Strekal, V.F.Oskirko, S.A.Maskevich, S.V.Gaponenko, M.I.Samoilovich, A.V.Gur'yanov. Opal-based films as substrates for molecular spectroscopy)

Ю.В.Панфилов, И.В.Гладышев, Е.А.Левашов, Д.В.Штанский, А.Н.Шевейко.МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ НАНОСТРУКТУРНЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ УПРОЧНЕНИЯ ИНСТРУМЕНТА(Yu.V.Panfilov, I.V.Gladyshev, E.A.Levashov, D.V.Shtansky, A.N.Sheveiko. Multi-component nanostructure thin film coatings for tools strengthening)

А.Л.Каменева, Д.В.Александров, В.Д.Житковский. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА И ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ НА СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЕ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ZrN, TiZrN, TiBSiN(A.L.Kameneva, D.V.Alecsandrov, V.D.Jitkovsky.The influence of composition and technology on the properties and using of the wear-resistant coatings based on ZrN, TiZrN, TiBSiN)

Е.А.Волкова, Н.И.Леонюк. ЖИДКОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ Yb:YAl3(BO3)4(E.A.Volkova, N.I.Leonyuk Liquid phase epitaxy of Yb:YAl3(BO3)4)

А.Н.Залесов, К.М.Моисеев, Ю.В.Панфилов, А.В.Осипов, П.В.Пащенко, М.Ю.Цветков. ТЕХНОЛОГИЯ НАНЕСЕНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ И НАНОКОМПОНЕНТНЫХ ПОКРЫТИЙ(A.N.Zalesov, K.M.Moiseev, Y.V.Panfilov, A.V.Osipov, P.V.Pashchenko, M.Yu.Tsvetkov. Deposition technology of nanostructure and nanocomponent coatings)

А.Ф.Белянин, М.И.Самойлович, Д.В.Александров, В.Д.Житковский, А.Л.Каменева. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ТЕРМОЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ AlN В ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ(A.F.Belyann, M.I.Samoylovith, D.V.Aleksandrov, V.D.Jitkovsky, A.L.Kameneva. Usage of strengthening coatings based on AlN in electronics)

Г.Е.Адамов, Е.П.Гребенников, А.Г.Девятков. ВЛИЯНИЕ ВЛАЖНОСТИ НА ФОТОХРОМНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЁНОК БАКТЕРИОРОДОПСИНА И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЁНОК С ПОВЫШЕННЫМ ВЛАГОСОДЕРЖАНИЕМ(G.E.Adamov, E.P.Grebennikov, A.G.Devyatkov. Influence of humidity on photochromic properties of the films of bacteriorhodopsin and technology of preparation of high humidity films)

А.Ф.Белянин, М.И.Самойлович, Д.В.Александров, В.Д.Житковский, А.Л.Каменева. ПЛЕНКИ AlN КАК ЗАЩИТНОЕ ПОКРЫТИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ(A.F.Belyanin, M.I.Samoylovich, D.V.Alexandrov, V.D.Zhitkovskiy, A.L.Kameneva. AlN films as protective layer of measuring instruments)

В.М.Елинсон, В.В.Слепцов, А.Н.Лямин, В.В.Потрясай. НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ - СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ БИОМЕДИЦИНСКИМИ СВОЙСТВАМИ МАТЕРИАЛА(V.M.Elinson, V.V.Sleptsov, A.N.Lyamin, V.V.Potryasay.The surface nanostructuring is the way for operating the medical and biological properties of the materials)

В.Ф.Бочкарев, А.А.Горячев, В.В.Наумов. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ РОСТА МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (V.F.Bochkarev, A.A.Goryachev, V.V.Naumov. Study of metal films growth)

В.Г.Блохин, А.М.Васильев. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОПОДОБНЫХ СОЕДИНЕНИЙ(V.G.Blohin, A.M.Vasil'ev. The investigation of the thin films metallike combinations)

Г.Е.Адамов. ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФОТОХРОМНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ БАКТЕРИОРОДОПСИНА ДЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ УСТРОЙСТВ ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ(G.E.Adamov. Technology and tools for fabrication of photochromic material films based on bacteriorhodopsin for elements of digital systems)

В.Ф.Бочкарев, А.А.Горячев, В.В.Наумов. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК ЖЕЛЕЗО-НИКЕЛЬ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННОПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ В ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ПОЛЯХ (V.F.Bochkarev, A.A.Goryachev, V.V.Naumov. Study of the iron-nickel films, obtained by ion-plasma method at electromagnetic fields)

Н.И.Сушенцов, А.В.Ермолаев, Н.С.Мокосеев. ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ZnO (N.I.Sushentsov, A.V.Ermolaev, N.S.Mokoseev. The peculiarities of the ZnO bazed layer structures obtaining)

Н.И.Сушенцов, Н.С.Мокосеев, А.В.Ермолаев. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ AlN В АКУСТОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВАХ (N.I.Sushentsov, N.S.Mokoseev, A.V.Ermolaev. Piezoelectric AlN films in acoustoelectronic devices)

Е.В.Булыгина, Н.Н.Васильева. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ CALOWEAR-TEST(E.V.Bulygina, N.N.Vasil'eva. The Investigation of Thin Films Using the Calowear Test)

В.В.Дворкин, П.В.Пащенко, А.И.Порошин, А.Ф.Белянин, М.И.Самойлович, Н.В.Суетин. ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК МoS2 МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ВЧ РАСПЫЛЕНИЯ(V.V.Dvorkin, P.V.Pashenko, A.I.Poroshin, A.F.Belyanin, M.I.Samoylovich, N.V.Suetin. Deposition of the thin films MoS2 by method of RF magnetron sputtering)

В.Н.Игумнов, В.Е.Филимонов. ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК СОСТАВА Bi2Sr2CaCu2O8 МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ МИШЕНИ(V.N.Igumnov, V.E.Filimonov. i2Sr2CaCu2O8 thin films formed by magnetron sputtering method from a multicomponent target)

Д.В.Александров. ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ:ПОЛУЧЕНИЕ, ИССЛЕДОВАНИЕ И ПРИМЕНЕНИЕ (D.V.Alexandrov. The functional strengthening coatings: synthesis, study and application)